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Planejamento da medio baseado no mtodo de substituio para controle de elementos em microescala


Crhistian Raffaelo Baldo; Jan Mewis; Marcelo Octavio; Tamborlin; Luciana Wasnievski da Silva de Luca Ramos; Eckart Uhlmann


Resumo:

A microusinagem tem experimentado grandes avanços recentemente devido à necessidade crescente por produtos microestruturados. No laço de desenvolvimento de peças em microescala, a metrologia tem um papel crucial, por prover informações para melhoria da fabricação. A implementação de técnicas para verificar elementos de tamanho de moldes microfluídicos define o tópico maior deste trabalho. Considerando o modelo de integração da incerteza, o método de substituição é adotado para avaliar a incerteza. O plano da medição e os principais resultados são apresentados e discutidos.


Referência:
BALDO, Crhistian Raffaelo; MEWIS, Jan; TAMBORLIN, Marcelo Octavio; RAMOS, Luciana Wasnievski da Silva de Luca; UHLMANN, Eckart. Planejamento da medição baseado no método de substituição para controle de elementos em microescala. In: CONGRESSO BRASILEIRO DE METROLOGIA, 9., 2017, Fortaleza. Anais... 4 p.

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